By Dr. Michael Kohler(auth.)

Content:
Chapter 1 Einfuhrung (pages 1–3):
Chapter 2 Besonderheiten mikrotechnischer Atzprozesse (pages 5–32):
Chapter three Na?atzverfahren: Abschnitte 3.1 ? 3.4 (pages 33–96):
Chapter three Na?atzverfahren: Abschnitte 3.5 ? 3.6 (pages 96–126):
Chapter four Trockenatzverfahren (pages 127–197):
Chapter five Mikroformgebung durch Atzen von lokal verandertem fabric (pages 199–205):
Chapter 6 Ausgewahlte Vorschriften (pages 207–369):

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An die Stelle der Wechselwirkungen zwischen den Teilchen im Festkörper treten dabei die Wechselwirkungen zwischen den Festkörperteilchen und Teilchen der Flüssigkeit. Im einfachsten Fall bilden die Lösungsmittelmoleküle selbst eine Hülle, die Solvathülle, um das gelöste Teilchen. h. der flüssigen Phase, gut beweglich. Bei den allermeisten Ätzverfahren wird Wasser als Lösungsmittel verwendet. Die Solvathülle, welche sich um die sich lösenden Teilchen aufbaut, ist in diesen Fällen eine „Hydrathülle".

Die Einstellung bestimmter Flankenwinkel gelingt bei einem ideal anisotropen Ätzen durch geeignete Ätzratenverhältnisse zwischen abzutragender und Maskenschicht. Bei vollständiger Selektivität ergeben sich ideal senkrechte Kanten, unabhängig davon, welchen Flankenwinkel die Maskenstrukturen besitzen. Im Falle eines endlichen Ätzratenverhältnisses wird der Flankenwinkel der Maske in den Flankenwinkel der abzutragenden Schicht projiziert. Je größer der Ätzratenunterschied ist, umso steiler wird die Ätzflanke gegenüber der Maskenflanke ausgebildet (Abb.

Kley et al. Schubert, Th. Werner (1994) 26 2 Besonderheiten mikrotechnischer Ätzprozesse Maske Substrat Spalt Atzabtrag von der Öffnung her Über die Ätzzeit eingestellte Flankenneigung Abb. 2-8. Herstellung von Strukturflanken mit extrem flachem Böschungswinkel durch isotropes Ätzen aus der Gasphase unter Verwendung einer mikromechanisch hergestellten Spaltmaske hergestellt werden. Dafür muß der zusätzliche Aufwand zur Herstellung spezieller Maskensubstrate in Kauf genommen werden. 5 Maßhaltigkeit Mit zunehmender Miniaturisierung von Strukturelementen wachsen auch die Anforderungen an die Genauigkeit der Strukturübertragung.

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